科大的微電子製造中心於1996年更名為微電子製造實驗中心，2006年更名為納米電子製造實驗中心，後來再冠上現有名字納米系統製造實驗中心，是全香港首家於專上院校內設立的同類實驗室。

這所創先河的中央設施支持科大的學院教員進行與微／納米裝置和系統相關的研究與教學，同時為大學以外的研究人員提供服務。