科大的微电子制造中心于1996年更名为微电子制造实验中心，2006年更名为纳米电子制造实验中心，后来再冠上现有名字纳米系统制造实验中心，是全香港首家于专上院校内设立的同类实验室。

这所创先河的中央设施支持科大的学院教员进行与微／纳米装置和系统相关的研究与教学，同时为大学以外的研究人员提供服务。